一、 功能及技術(shù)指標 1 ）該標準裝置可以開展 ： JJF 1062-1999 電離真空計校準規(guī)范 JJF 1050-1996 工作用熱傳導真空計校準規(guī)范 JJG 932-1998 壓阻真空計檢定規(guī)程 JJF 1062-2022 電離真空計校準規(guī)范...
一、功能及技術(shù)指標
1）該標準裝置可以開展：
JJF 1062-1999 電離真空計校準規(guī)范
JJF 1050-1996 工作用熱傳導真空計校準規(guī)范
JJG 932-1998 壓阻真空計檢定規(guī)程
JJF 1062-2022 電離真空計校準規(guī)范（電離真空計新規(guī)范23年實行）
JJG 882-2019 壓力變送器檢定規(guī)程（絕壓壓力變送器）等規(guī)程、規(guī)范的校準業(yè)務。
2）技術(shù)指標
1．型號：WCZK12-02
2．測量范圍：（1~10000）Pa
3．電源：AC220V±10% 50HZ
4．功率：300W
5．控制電壓：DC24V
6．工作環(huán)境：（15~35）℃ 50%RH 以下
7．測量范圍：（1~10000）Pa
3）技術(shù)指標
序號 | 校準范圍 | 最大允許誤差/準確度等級/不確定度 | 原理 | 壓力穩(wěn)定性能 |
1 | 105Pa～1×10-1Pa | 不大于：5% rdg.. | 靜態(tài)比對（低真空） | ＜1%/min |
2 | 1×10-1Pa～1×10-4 | 不大于：±10% rdg. | 動態(tài)比對（高真空） | ＜1%/min |
二、具體參數(shù)
1）中低真空標準器：電容薄膜真空計
2）高真空標準器：電離真空計，
測量范圍：（1×103～2×10-6）Pa；精度：±10%rdg
高真空校準室尺寸：球形真空室內(nèi)徑ф350mm,體積大約為30.5L。
中低真空校準室：球形真空室內(nèi)徑ф250mm,體積大約為10L
3）校準室：校準室為雙球真空室，其中高低真空校準室分離，雙高真空系統(tǒng)
4）高真空校準室尺寸：球形真空室內(nèi)徑ф350mm,
5）中低真空校準室：球形真空室內(nèi)徑ф250mm
6）極限真空：高真空部分： 上球室優(yōu)于2×10-6Pa；下球室達到1×10-6 Pa；
中低真空部分：校準室優(yōu)于5×10-4 Pa。
7）高真空校準室烘烤溫度：（室溫-200℃）可任意設(shè)定
8）烘烤溫度：室溫-200℃)可任意設(shè)定
9）閥門：主閥為超高真空插板閥；
10）泵：主泵為分子泵
11）球型校準室和管道不銹鋼材料均為304或316L，并且對整體材料進行電拋光處理.
12）裝置結(jié)構(gòu)和裝置外形尺寸
13）主機一臺，出具省級以上計量單位的溯源證書，提供上門安裝培訓服務
真空應用技術(shù)優(yōu)勢，精確的數(shù)據(jù)處理能力；
三、功能特點
1）真空穩(wěn)定性能突出，100Pa以下優(yōu)于2%，100Pa 以上優(yōu)于 1%；
2）同時可檢測 4~8 個傳感器，被檢傳感器之間互不影響；
3）整機尺寸小，可快速分離真空艙，保障整套裝置運輸；
4）配置有信號輸入輸出接口，便于在線檢測傳感器以及讀取標準傳感器信號
5）供電電源 220V±10%；
6）檢測效率高，任一真空值之間穩(wěn)定時間約（1~10）min，大部分測量點可以保證 2min 內(nèi)穩(wěn)定；
7）不需其他任何裝置即可正常工作（不需要外接氮氣）；
8）復雜環(huán)境下可正常工作；
9）設(shè)備尺寸：（600*600*1400）mm；重量：約400斤
PLC操作界面
四、 系統(tǒng)設(shè)計
1標準器具
a)低真空部分: 真空采用4只電容薄膜規(guī)。
b）主標準器：高真空部分采用SmartFB-A,此標準器采用國際共認最高精度Thyracont的熱陰極全量程電離真空計VSH89D。測量范圍（1×103～1×10-7）Pa,該真空計精度為±10%rdg.基礎(chǔ)上進行獨立校準數(shù)據(jù)修正，將真空示值誤差控制在±10%rdg.。上級計量單位溯源范圍（1～1×10-4）Pa。 該標準器原理和MKS 370GP一致，可以保證送檢量值的可靠性，同時避免被卡脖子，可以提供長期質(zhì)保（三年）。
2校準室基本配置
采用高低很空校準室分離，雙高真空系統(tǒng)設(shè)計?？梢员Ｕ细哒婵招适覈栏癜凑談討B(tài)比對法真空標準裝置的要求，最大程度接近理想狀態(tài)。實現(xiàn)最佳壓力值的穩(wěn)定性。中、低真空校準是室按照低真空校準要求設(shè)計，操作便捷，適于開展校準工作為特點。同時采用兩套單獨的高真空系統(tǒng)，有利于操作簡單和保證系統(tǒng)的各項技術(shù)指標。
超高真空校準室采用雙球真空室。主泵采用美國KYKY的FF-160C系列分子泵。中、低真空校準室采用KYKY公司的FF100/150，該分子泵操作方便，經(jīng)久耐用。主閥采用川北的超高真空插板閥，便于系統(tǒng)充氣以及高真空的保持，同時可以切換對低真空校準室抽氣。前級真空泵采用BAOS的GSP-3 無油渦旋真空泵，噪音低極限真空好。監(jiān)測規(guī)采用上國光或正華公司生產(chǎn)的ZJ12 B-A規(guī)，測量范圍10-2～10-8pa。中低真空監(jiān)測規(guī)采用ZJ-27測量范圍1～5×10-6pa。
3校準室基本結(jié)構(gòu)
真空室為雙球真空室，為保證穩(wěn)壓室給校準室進氣的均勻度，在校準室上方裝有散流孔。上下真空室之間用金屬密封法蘭連接，中間有限流小孔。上下校準室赤道上各備有5-7個DN40CF法蘭接口，（任意兩個法蘭通過球心直線互不相對，錯開一定的角度，避免校準時的參數(shù)相互影響。）用來接被校規(guī)、比對規(guī)和四極質(zhì)譜等。用EDWARDS微調(diào)閥對校準室進行壓力控制。同時還可以通過小孔c1控制前級壓力的來計算校準室壓力。
在下球室底部裝有CF150法蘭與主泵連接。分子泵與前級真空泵之間通過電磁閥用波紋管連接。在分子泵、前級真空泵之間安裝真空規(guī)，對前級壓力監(jiān)測。
4中、低真空校準室基本配置
中、低真空校準室為球形真空室，內(nèi)徑ф250mm，體積10L。主閥采用手動閘板閥，通過手動微調(diào)閥控制校準室壓力，實現(xiàn)熱傳導真空計的校準以及給高真空校準室提供穩(wěn)壓氣源。中低真空監(jiān)測規(guī)采用復合真空計，電離規(guī)ZJ-27，測量范圍10-1～5×10-6Pa。
5測量和控制系統(tǒng)
采用PLC控制，觸摸屏顯示真空系統(tǒng)，溫度真空度等。管道閥門采用電氣動閥門，真空系統(tǒng)實現(xiàn)自動和手動兩種控制模式。通過水壓繼電器對冷卻水壓力進行監(jiān)控?？筛鶕?jù)用戶要求實現(xiàn)計算機數(shù)據(jù)采集，原始記錄自動生成等功能軟件開發(fā)。
定州加熱套，加熱烘烤系統(tǒng)采用溫度可控。穩(wěn)壓室、上游室和下游室溫度可監(jiān)測。
五、校準室材料及處理
1 材料
球形校準室以及管道材料采用304或316L。
2 焊接和真空熱處理
采用自熔氬弧焊進行焊接，球形校準室在焊接前先清洗，確保超高真空的焊接要求。能夠采用內(nèi)焊的全部采用內(nèi)焊。腔體焊接后在高真空燒氫爐內(nèi)燒氫處理。
3 清洗
校準室及穩(wěn)壓室在焊接、氦質(zhì)譜檢漏全部完成后，全部零部件先進行超聲波清洗以及電拋光。
六、配件及其它
除進口閥門外采用川北真空的產(chǎn)品，校準室的極限真空度由B-A規(guī)測量，并驗收。本公司提供全套真空設(shè)備操作和鑒定員的培訓。并長期提供最專業(yè)的技術(shù)和設(shè)備支持。
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